一、系统主要配置及功能

1.  电子束分辨率：

在最佳WD：1 kV时0.7 nm；500 V(ICD)时1.0 nm

在重合点：15 kV时0.6 nm；1 kV时1.2 nm

电子束电流范围：在所有加速电压下 0.8 pA-100 nA

加速电压范围：350 V-30 kV

最大水平视野宽度：4 mm WD时2.3 mm

2.  离子光学系统

  离子总类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N

切换时间＜10分钟，仅需软件操作

离子束电流范围：1.5 pA-2.5 μA

加速电压范围：350 V-30 KV

最大水平视野宽度：在等离子重合点处为0.9 mm

3.  腔室

在分析WD时的E和I重合点：4mm SEM

内部宽度：379 mm

集成式等离子清洗器

4.  探头

Elstar电子镜筒内SE/BSE探头（TLD-SE、TLD-BSE）

Elstar电子镜筒内SE/BSE探头（ICD）

Everhart-Thornley SE检测器（ETD）

查看样品/镜筒的IR摄像机

用于二级离子（SI）和二级电子（SE）的高性能腔室内电子和离子探头（ICE）

腔室内Nav-Cam样品导航摄像机

可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子探头（DBS）

STEM 探头

集成的等离子束电流测量

5.  载物台和样品

灵活的五轴电动载物台:XY范围，110 mm；Z范围，65 mm；旋转，360°；倾斜范围，-38°至+90°；XY重复性，3μm。

最大样品高度：与共心点间距85 mm

0°倾斜时的最大样品重量：5Kg（包括样品架）

最大样品尺寸：完全旋转时110 mm

计算中心旋转和倾斜

6. 微操机械手EasyLift Cryo

制冷温度：-185℃

三轴电动位移台：XYZ可独立调节

自动切割软件：AutoTEM Cryo 2.4.2

二、基本应用

1. 常温树脂样品三维成像

2. 冷冻样品聚焦离子束精准减薄