聚光镜光阑对中（center condenser aperture）

　　将光斑聚成一点，用束平移轨迹球将光斑移动中心；

　　用intensity旋钮顺时针旋转使光散开，观察光束是否同心缩放并能充满荧光屏的大圆；否则，调节调节聚光镜光阑X、Y调节旋钮。

　　1．枪倾斜对中（gun tilt）：

　　选择“tune”->“gun”->“gun tilt”；

　　按照提示要求去掉物镜光阑和选区光阑；

　　将光斑聚到荧光屏中间，但不要聚成一点；

　　调节多功能钮，使曝光时间最短；

　　点“>”键，重复上述过程。

　　2．枪平移对中（gun shift）：

　　选择“tune”à“gun”à“gun shift”；

　　用intensity旋钮将光会聚；

　　用多功钮将spot size #9 光斑调到荧光屏中心；

　　点“>”键，用intensity旋钮将光会聚；

　　用多功钮将spot size #3 光斑调到荧光屏中心。

　　3．Spot size 相关的枪平移对中（spot size-dependent gun shift）：

　　选择“tune”à“gun”à“spot size-dependent gun shift”；

　　用intensity旋钮将光会聚；

　　用多功钮将spot size #5 光斑调到荧光屏中心；

　　点“>”键，用intensity旋钮将光会聚；

　　用多功钮将spot size #9 光斑调到荧光屏中心；

　　点“>”键，用intensity旋钮将光会聚；

　　用多功钮将spot size 10# 光斑调到荧光屏中心；

　　按左面板“spot size -”键，spot size 减一，用intensity旋钮将光会聚，用多功钮将光斑调到荧光屏中心，一直将10个spot size全部对中；

　　点“>”键，用intensity旋钮将光会聚；

　　用多功钮将spot size 11# 光斑调到荧光屏中心；

　　枪平移对中结束。

　　4．电流中心调整（rotation center）：

　　高倍rotation center调整：

　　选择“tune”à“Beam HM-TEM”à“rotation center”；

　　用多功钮将光斑调到荧光屏中心，聚焦样品；

　　点“>”键，

　　用多功钮将光斑调至同心缩放或将样品调至不移动为止；

　　点“>”键，电流中心调整结束。

　　低倍rotation center调整：

　　选择“tune”à“Beam LM”à“rotation center”；

　　用多功钮将光斑调到荧光屏中心，聚焦样品；

　　点“>”键，

　　用多功钮将光斑调至同心缩放或将样品调至不移动为止；

　　点“>”键，电流中心调整结束。

　　5．消像散调节（stigmetor）：

　　聚光镜像散

　　选择“tune”à“stigmetor”à“condenser”；

　　用多功钮将光斑调至正圆；

　　消像散结束，点“None”键。

　　注意：不同的spot size分别消相散。

　　物镜像散：

　　找到感兴趣的样品区域，

　　用CCD，view模式观察，打开实时FFT画面。

　　选择“tune”à“stigmetor”à“objective”；

　　用多功钮将Thon ring 调至正圆；

　　消像散结束，点“None”键。